応用マテリアル工学コースでは、社会が求める新しい特性をもつマテリアル=材料の開発を目指し、世界最先端の研究装置群を活用しながら研究を進めています。原子を見る顕微鏡から元素の種類を分析する装置まで、自慢の研究装置たちをご紹介します!
収差補正走査透過型電子顕微鏡(Cs-corrected STEM)

レンズの収差を補正することにより、材料の原子配列を容易に直接観察できる電子顕微鏡です。電子線を用いた元素の組成分析(HAADFやEDS)にも対応しており、どのような原子がどのように配列して結晶構造を作っているのか、画像として理解できる世界最先端の装置です。
複合量子ビーム超高圧電子顕微鏡
2つのイオン加速器と1300kVの超高分解能電子顕微鏡を連結したマルチビーム超高圧電子顕微鏡です。複数のレーザー照射装置も融合し、さまざまな量子ビーム照射下で原子レベルのその場観察(リアルタイム観察)を可能にしています。
電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)

電子線を固体表面に照射した際に生じる特性X線を検出することにより、どのような元素が存在するのか測定する装置です。電子線をライン状にスキャンすることにより、材料表面に存在する元素の分布画像(マッピングイメージ)を取得することができます。
集束イオンビーム装置(FIB-SEM)
イオンビームをマイクロ・ナノレベルに集束(絞り込む)することによって高エネルギーのイオンビームとし、これを材料表面に照射すると、材料の表面が削り取られて微細な加工を施すことが可能になります。ナノテクノロジーへの応用や電子顕微鏡観察用試験片の作製、ナノインデンター加工などに幅広く応用されています。
